主要性能特點(diǎn)輸出濃度:SO2:<0.5ppb; NO:<0.5ppb; NO2:<0.5ppb; O3:<0.5ppb; CO:<0.025ppm (要求訂購(gòu)CO滌除器); HC:<0.02ppm (要求訂購(gòu)HC滌除器)輸出: 10 SLPM @ 30 psig20 SLPM @ 30 psig (可選)